憶吳德馨老師
來源：【字號：大 中 小】
我是1997年來到微電子所的(當時的單位名稱還是“中國科學院微電子中心”)，進入到吳老師的新型器件組。當時的辦公室是在凈化樓(現在的“王守武樓”)三樓。
面試的時候是在吳老師的辦公室。第一次見吳老師，給我的印象是：這位女領導好精干！辦公室干凈整潔，窗明幾凈，辦公桌一塵不染！但是交談起來，給我的感覺是和藹可親。吳老師給我介紹了新型器件組的主要研究方向，也介紹了微電子所之前取得的一些成果。吳老師也詢問了一些我的情況。經過了時間不長的面試，我就做了我的人生中一個重要的決定：進入微電子中心，加入吳老師的新型器件組！其實，我當時本來已經決定了去一個科研儀器公司，是來向微電子中心人事處的老師告辭的。但是人事處的宋燕杰老師說，吳老師看了我的簡歷，想和我聊聊，所以才有了這個面試環節。我想，是吳老師強大的人格魅力感染了我，讓我馬上就做出了留下來的決定！
吳老師在工作中非常認真，經常親自到實驗室查看實驗結果，并詢問實驗細節，給出實驗建議。當時的實驗條件比較簡陋，吳老師帶領大家，自己完善實驗環境。記得當時另外一個部門有一臺干法刻蝕機到了報廢狀態，質量流量計等部件都已經失效。吳老師知道后說這個設備維修一下我們組還可以使用，然后親自聯系了維修質量流量計的師傅，進行了維修，并修復了其它部件，最終讓這臺設備重新運行了起來。還有一臺熱阻蒸發臺也是這種情況，當時是吳老師帶領我們從另外一個實驗室的角落，翻出了這臺設備，經過整修，也讓這臺設備能夠繼續為我們的實驗發揮余熱(上世紀九十年代)。
吳老師對于國家的設備資產相當愛護，當時課題組采購了一套HP的小信號測試系統(8510C)，設備比較昂貴，為了保護這個“珍貴”的儀器，吳老師就把這臺儀器放在自己的辦公室，占用了好大的辦公區域。
吳老師在科研工作中非常有創新精神，并且鼓勵學生開拓思維，敢于探索。當時的電子束直寫技術在半導體器件工藝中屬于“貴族”工藝，吳老師就讓大家思考怎樣才能在工藝當中實現電子束直寫工藝的高效使用，最后開發出了混合光刻技術，提高了整體工藝效率。
吳老師對待國家交給我們的研究任務一絲不茍，做課題研究非常嚴謹。當時做“九五”課題時，除了提前完成了項目中要求研究的HEMT器件結構之外，還研究了項目中沒有要求的PHEMT器件。當時吳老師說:“既然我們提前完成了任務，我們就多做一些吧！”
吳老師經常教育我們對待工作要認真，給我印象最深的是有一次她和大家一起談心，聊起當初那段特殊的時期，吳老師說：當年讓我去打掃廁所，我想掃廁所就掃廁所，但是即使是讓我去打掃廁所，我也要比別人打掃得都干凈！！
“退休”后，本來以為吳老師可以歇一歇了，過一下普通人的悠閑生活，誰想到，她又在七十多歲的高齡，又一頭扎進VCSEL激光器領域，創立了一個科研小組，并取得了令人矚目的成績！
吳老師非常關心年輕人的生活，她“退休”后，我們去看望她，她總是埋怨我們“怎么又買東西，你們的負擔都很重，為什么還要為我花錢！我這里什么都不缺，你們來看我，我就已經很高興了！”(寫到這里，我已經滿眼淚水……)和我們聊天時，總是不忘詢問工作情況，單位的情況，課題的進展情況，個人家庭情況。每當聽到我們個人取得的成績、研究的進展的時候，她高興的就像個孩子，臉上是燦爛的、慈祥的笑容。
還有很多事情，讓我不斷想起那位面帶溫暖笑容，鼓勵著我們，關心著我們，慈祥的長者、人生的導師……
老師已去，給我們留下了寶貴的精神財富，讓我們受益終生！
吳老師千古！
“投身半導體六十載，桃李天下，累累碩果，一心做科研；
??????心系微電子大半生，德技雙馨，拳拳之心，無私獻祖國！”
——獻給敬愛的吳老師！
鄭英奎
© 中國科學院微電子研究所 版權所有