懷念恩師吳德馨先生
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2026年3月23日，恩師吳德馨院士永遠的離開了我們。她的離去，讓我悲痛萬分，但她的精神如指路明燈，永遠鐫刻在我心中，激勵著我砥礪前行。
吳老師平易近人的人格魅力感動了我，追隨她投身國家的微電子事業。1997年10月，我在771所研究SOI BiCMOS 器件技術。彼時，微電子所擁有國內獨一無二的快速退火爐，是攻克雙極器件多晶硅發射極退火推進工藝的關鍵，懷揣著對技術突破的渴望，我毅然奔赴北京尋求合作。在微電子所主樓一樓會議室，我向一室的海潮和老師、陳煥章老師匯報工作、闡述合作訴求，現場討論熱烈而專注。就在這時，一位身著得體、氣質溫婉優雅的女研究員輕輕走進來，靜靜坐在會議桌角落，全程認真聆聽。當談及長期困擾我的技術難題——淺推進重摻雜導致仿真與實驗不符、器件增益不足時，她提出：采用多晶硅發射極原位摻雜，或許能從根本上解決問題。年輕氣盛的我當即反駁，直言國內尚無原位多晶硅的實現條件。可吳老師只是溫和一笑，目光堅定又從容：“我們可以自研或者改造工藝設備，一起試著攻克它！”那一刻，她淵博深厚的學識、從容自信的氣度，瞬間折服了年少自負的我。會后，海潮和老師笑著拍我的肩膀：“小伙子不錯，敢和吳院士直面探討科學問題！”這次相遇，吳老師和藹可親、平易近人的模樣，如一束光，堅定了我報考微電子所、追隨她攻讀博士、為國家微電子事業拼搏的決心。
吳老師敢于信任年輕人，支持他們攻堅克難。1998年3月，我如愿成為吳老師的首位博士研究生。她緊扣國家任務需求，結合我的專業特長，安排我牽頭抗輻照 SOI 64K SRAM 技術攻關，這是一項涵蓋工藝、器件、機理、電路全鏈條的自主研發任務，工作量巨大，更需多團隊協同攻堅。她悉心為我搭建協作平臺，安排我到第一研究室開展工藝開發，協調課題組劉宏民、鄭英奎和二室葉青副研究員協同電路設計，特邀半導體所劉忠立研究員指導抗輻照工藝實驗。盡管吳老師事務繁重、日夜操勞，卻始終全程參與每次組會，對我的研究細致指導、耐心解惑。側墻刻蝕控制、硼磷硅二次布線、ESD 結構優化…… 每一個關鍵環節，都傾注著她的心血與指引。在她的全力支持下，我們歷經兩年協同奮戰，成功突破 0.8- 1.2um 部分耗盡 SOI CMOS 工藝，研制出 SOI SRAM 樣片，每一步突破，都離不開她的領航托舉。
吳老師嚴謹治學的風范，是我科研路上永不褪色的標桿。在我讀博士期間，每當研究遭遇挫折、陷入困境，她從不苛責，總是循循善誘、鼓勁加油，幫我撥開迷霧、重拾信心；撰寫學術文章時，她逐字逐句推敲修改，嚴謹到分毫；博士論文審閱階段，她敏銳指出我在部分耗盡效應機理、器件模型研究上的不足，叮囑我再深耕打磨。起初，我滿心困惑與抵觸，論文的工作量與研究水平早已達標畢業要求，何必再苛求？吳老師看穿了我的心思，語重心長地開導：“科研的核心是體系的完整，博士的價值，在于機理機制上的突破，唯有如此，才能練就真正屬于自己的科研能力。” 這番教誨，如醍醐灌頂，讓我終身受益。
吳老師心中始終裝著國家需求與研究所發展。當年她敏銳洞察到化合物半導體器件與集成電路對國家戰略的重要意義，多次向國家建言，推動我國化合物半導體科學研究與產業發展。在中國科學院的支持下，她牽頭開辟微電子所化合物半導體器件與集成電路研究方向，為微電子所四室的成立筑牢根基，使微電子所成為國內最早開展化合物半導體集成技術研究的科研機構之一。當前我國GaN、SiC等化合物半導體集成電路相關產業的蓬勃發展,沒有被國外卡脖子，也驗證了她當時的遠見卓識。
對青年后輩的科研和生活，她都傾盡心力、關懷備至。科研路上，她為我們指明方向；項目申報，她悉心指導、傾囊相授；即便退休，她始終默默為所里青年科研人員在科研和生活中排憂解難；可對自己，卻從不麻煩他人，凡事親力親為、獨立擔當。
她退休后，我常去探望恩師，每次相見，她不說自身瑣事，句句都關切著所里的發展：有那些最新的科研進展、有哪些重大成果突破、又申請了什么重大項目等等。吳先生臨終還特意囑托兒子“不要麻煩所里，希望微電子所越來越好。”那份對研究所的殷殷牽掛、拳拳初心，深深烙印在每一句話語里。
吳老師走了，但她的音容笑貌仿佛仍在眼前，她的囑托和她的期盼還在心里回蕩。我們深切緬懷吳老師，緬懷她為我國微電子事業鞠躬盡瘁、不懈奮斗的光輝一生。她用一生踐行初心，詮釋了科學家的堅守與科研導師的真諦，教會我們做人的品格、做事的擔當。在她的引領下，我們帶著她的期盼和囑托，勇于扛起使命和擔當，為國家發展、民族復興的中國夢，為國家的微電子事業，傾盡畢生力量！
恩師西去，精神永存！
您的學生：劉新宇
2026年3月26日
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