l?? 作品名稱：路漫漫

l?? 作者信息：設備中心-李楠

l?? 圖片描述：本作品顯示的是，超高真空環境下傳輸車運送樣品到不同的工藝或檢測腔室進行科學研究。小車在不同功能的腔體間傳送，就像經過四通八達的交通路口。代表盡管科學研究的路不好走，但總有一個方向會抵達目的地，我們一直以及將來都要在這條道路上勇于創新，不斷探索，尋求科學的真理。

l?? 儀器名稱型號：E-PEALD/SPM/R-100（國家重大科研儀器研制項目，自行研制儀器）

l?? 拍攝設備：華為手機

l?? 獲評中國科學院2022年度“發現科學之美”大賽優秀獎、中國科學院微電子研究所2022年度“發現科學之美”大賽三等獎