
l? 作品名稱:神奇時刻
l? 圖片描述:本作品展示的是光刻膠對曝光反應的狀態圖:極紫外光將掩模版上的圖形信息經過復雜光學系統后投影到光刻膠上,激發神奇的化學反應,產生可溶于顯影液的圖形(圖中紫紅色部分),從而實現圖形轉移,這是集成電路制造中最重要的光刻工藝之一。
l? 取樣儀器名稱型號:Canon EOS 500D
l? 圖片處理軟件名稱:Solidworks2018、 Keyshot9.0、Adobe Photoshop 2021
l? 獲評中國科學院2022年度“發現科學之美”大賽三等獎、中國科學院微電子研究所2022年度“發現科學之美”大賽二等獎
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