作者信息：重點實驗室  陳寶欽

圖片描述：本作品顯示的是在電子束光刻實驗中，電鏡下偶然發現的一尾精美的活生生的“納米魚”。放大后，可以發現其每一片魚鱗是由四個光刻膠納米柱搭成的“溝火堆”（見附圖a）。附圖中幾張精典的電鏡照片可以進一步看到在電子束曝光顯影后清洗干燥過程中經常遇到的一種現象：高高寬比納米結構圖形粘連坍塌現象。這些照片為深入開展電子束光刻工藝技術研究提供許多非常有用的信息。在圖d和e中顯示，在理想的電子束光刻工藝中可以獲得漂亮的20納米點陣，并能找到完美的5納米光刻膠格柵結構。從事工藝技術研究，樂在其中！ 

電子束光刻實驗方法：首先在硅片上旋涂HSQ電子抗蝕劑；前烘；電子束曝光；后烘；CD26顯影；去離子水清洗；干燥；光學顯微鏡觀察；掃描電子顯微鏡檢測等工序。 

電子束光刻設備型號： 日本電子 JBX 5000 LS；日本電子 JBX 6300 FS 

掃描電子顯微鏡型號： 日立S- 4800