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稿件來源：責任編輯：發布時間：2020-08-06

作者信息：硅器件中心孫澎
圖片描述：本作品為拍晶圓橫截面所形成的圖片，VDMOS器件性能好壞，很大程度上取決于它的微觀結構，通過掃描電子顯微鏡看到其橫斷面微觀結構，包括垂直幾何結構、雙擴散工藝、多晶硅柵結構、單胞由結構等。
成像設備：臺式電子掃描顯微鏡
圖像處理軟件：JCM-6000