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問(wèn)鼎
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發(fā)布時(shí)間：2020-08-06
- 作者信息：高頻高壓中心 丁芃
圖片描述：本作品顯示的是化合物半導(dǎo)體表面的金屬傳輸線和布線的光學(xué)顯微鏡照片，由明場(chǎng)像和暗場(chǎng)像組成。右側(cè)是明場(chǎng)像；左側(cè)是對(duì)應(yīng)區(qū)域暗場(chǎng)像的鏡像，清晰的顯示了明場(chǎng)像中無(wú)法看到的圖形。作品整體表現(xiàn)為“鼎”的圖案。右側(cè)金黃色代表“問(wèn)鼎”的榮譽(yù)和光鮮；左側(cè)窗口內(nèi)酷似高空俯視城市夜景，猶如凌晨的北京城。作品寓意為，在看得見(jiàn)的科研成績(jī)背后，是看不見(jiàn)的無(wú)數(shù)個(gè)不眠的夜晚；只有經(jīng)歷過(guò)凌晨的北京，才能“問(wèn)鼎”科技的高峰。- 實(shí)驗(yàn)方法：在經(jīng)濕法腐蝕方法修飾過(guò)的磷化銦（InP）襯底上，采用負(fù)膠紫外光刻定義傳輸線和布線的圖形，通過(guò)電子束蒸發(fā)技術(shù)沉積鈦/金（Ti/Au）復(fù)合金屬層，通過(guò)剝離技術(shù)完成圖形轉(zhuǎn)移，然后通過(guò)等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（PECVD）技術(shù)沉積一定厚度的氮化硅（SiNx）薄層。
- 取樣儀器名稱型號(hào)：奧林巴斯半導(dǎo)體檢查顯微鏡 MX61L
- 圖片處理軟件名稱：Adobe Photoshop CS3 Windows
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