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作者信息:重點實驗室 劉宇
圖片描述:本作品顯示的是在硅片表面外延生長SiN,在晶格失配及應力的作用下SiN沿<110>方向隨機斷裂,在經過濕法腐蝕后可以清晰地看到薄膜斷裂的線條,圖片展現了在錯綜復雜中同時又井然有序的自然之美。每次看到此圖都能提醒我們,在科研工作中要懂得從紛亂復雜的現象中發現自然的秩序,發現真正的科學之美。
實驗方法:利用LPCVD在Si<100>面上生長SiN薄膜,控制工藝參數使薄膜產生缺陷,再用KOH溶液進行腐蝕使缺陷放大至肉眼可見。
成像設備:蘋果手機
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