
作者信息:先導中心 張青竹
圖片描述:本作品顯示的是硅納米線橫切面,可以清晰地看到高晶格質量且直徑小于10nm的“心形”硅納米線。初入眼簾,我們可以看到這副圖的形貌非常神似《泰坦尼克號》劇中,Rose身上所佩戴的“海洋之心”!每次看到此圖,都提醒我們科學之路就是一場心路旅程,我們每個人都應該有一顆屬于自己的“海洋之心”。正是這顆“心”,在時刻的提醒著我們,要勿忘初心,要踏踏實實的去做科研,不要被外界所影響,只有這樣我們的科研之路才可方得始終!
實驗方法:使用納米尺寸側墻硬掩膜,通過時分復用刻蝕和氧化的方法形成納米線。其他工藝和主流FinFET制作類似的制造技術。然后通過FIB制樣技術,截取納米線線的橫切面。
取樣儀器名稱型號: FEI Helios和FEI Talos F200X通過過FIB制樣技術,截取納米線線的橫切面,并通過透射電子顯微鏡觀察和分析元素分布。
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