作者信息：先導中心  張青竹

圖片描述：本作品顯示的是NiPt硅化物納米線橫切面，可以清晰地看到不同元素的分布情況。初入眼簾，我們可以看到這副圖所描述的景象和白居易《憶江南》中，那句“日出江花紅勝火，春來江水綠如藍”中描述的日出景致，如出一轍！每次看到此圖，都昭示我們科研艱辛之路，就如同日出破曉之前一個漫長的過程！科研過程之中，我們每個人都有屬于自己的經歷的要去破曉，需要我們去渡心中的那個黑暗之劫！唯有堅守信念，持之以恒，一如既往的日出而作日落而息，方可一覽日出之時所給我們帶來的那種大氣磅礴、氣吞山河時的自然之美！ 

實驗方法：基于芯片CMOS主流FinFET場效應晶體制造技術平臺，使用納米尺寸側墻硬掩膜，通過時分復用刻蝕技術和氧化的方法形成納米線。采用NiPt金屬使源漏變?yōu)榻饘偌{米。其他工藝和主流FinFET兼容類似工藝。通過過FIB制樣技術，截取納米線線的橫切面，并通過透射電子顯微鏡觀察和分析元素分布。 

取樣儀器名稱型號： FEI Helios和FEI Talos F200X