作者信息：高頻高壓中心  楊成樾 

圖片描述：摩爾定律揭示了集成電路技術(shù)發(fā)展的規(guī)律。每隔18-24個月，單位面積容納的元器件數(shù)目會翻一番。簡單的說就是我們微電子人要不斷追求在更小尺寸上制備相同功能的器件結(jié)構(gòu)。雖然隨著技術(shù)的進(jìn)步，這個定律能否延續(xù)適用性被提出了一些質(zhì)疑。但是挑戰(zhàn)困難，突破瓶頸是我輩努力的方向。看我們已經(jīng)在0.5um的周期上刻出了整齊的凸點結(jié)構(gòu)，它們整齊的隊列就像出征的戰(zhàn)士。迎難而上，攻堅克難是我輩應(yīng)有的擔(dān)當(dāng)。 

成像設(shè)備：S-4800型掃描電子顯微鏡